L'équipement de pulvérisation de magnétron joue un rôle clé dans de nombreux domaines tels que le traitement de la surface du matériau et la préparation du film. La maintenance quotidienne est essentielle pour assurer le fonctionnement stable de l'équipement, prolonger sa durée de vie et assurer la qualité du film pulvérisé. Ce qui suit va développer les points clés de l'entretien quotidien de l'équipement de pulvérisation magnétron.
Maintenance du système sous vide
1. Entretien de la pompe à vide: La pompe à vide est le composant central du système à vide de l'équipement de pulvérisation de magnétron. Vérifiez régulièrement le niveau d'huile de la pompe à vide pour vous assurer que le niveau d'huile se situe dans la plage normale. Après une utilisation à long terme, les performances de l'huile de pompe à vide se détérioreront en raison de l'adsorption des impuretés et de l'humidité. Généralement, l'huile de pompe à vide doit être remplacée à chaque période de fonctionnement (par exemple, 2000 heures). Dans le même temps, faites attention à vérifier l'étanchéité de la ceinture de pompe à vide. Une courroie trop lâche entraînera un instable la vitesse de la pompe à vide et affectera l'efficacité d'échappement; Trop serré peut accélérer l'usure de la ceinture. Si la ceinture montre des signes d'usure ou de vieillissement, il doit être remplacé dans le temps.
2. Nettoyage du tuyau à vide: Le tuyau à vide est le canal reliant la pompe à vide et la chambre de pulvérisation, qui est facile d'absorber la poussière, les impuretés et les particules générées pendant le processus de pulvérisation. Utilisez régulièrement un outil de nettoyage de tuyau à vide dédié pour nettoyer l'intérieur du tuyau pour éliminer les impuretés attachées. Pour les pièces difficiles à nettoyer, la purge de gaz peut être utilisée, mais la propreté du gaz de purge doit être assurée. De plus, vérifiez l'étanchéité du tuyau pour voir s'il y a une fuite. Une petite fuite peut entraîner le fait que le degré de vide ne parvienne pas à atteindre l'état idéal, affectant l'effet de pulvérisation. Un détecteur de fuite de spectromètre de masse d'hélium peut être utilisé pour détecter les fuites dans le tuyau, et les fuites peuvent être réparées à temps.
3. Calibrage de la jauge à vide: La jauge de vide est utilisée pour mesurer le degré de vide du système de vide, et sa précision de mesure est directement liée au jugement de l'opérateur sur l'état de fonctionnement de l'équipement. Calibrer régulièrement la jauge de vide, et il est généralement recommandé de le calibrer une fois tous les six mois ou un an. Le processus d'étalonnage doit être effectué conformément au manuel d'exploitation fourni par le fabricant d'équipements, et l'équipement d'étalonnage standard doit être utilisé pour garantir que les données de degré de vide mesurées par la jauge à vide sont exactes et fiables.
Pulvérisation de la maintenance cible
1. Nettoyage de la surface cible: Pendant le processus de pulvérisation, les produits de pulvérisation et les impuretés se déposeront progressivement sur la surface cible, affectant le taux de pulvérisation et la qualité du film. Après chaque utilisation de l'équipement, la surface cible doit être nettoyée dans le temps. Pour les cibles métalliques, une brosse de nettoyage cible spéciale peut être utilisée pour brosser doucement les dépôts de surface; Pour des cibles plus sensibles, telles que des cibles en céramique, une méthode de nettoyage plus douce est nécessaire, comme l'essuyage doucement avec un chiffon doux propre plongé dans une quantité appropriée d'agent de nettoyage spécial. Évitez d'utiliser des outils nets pour rayer la surface de la cible pour éviter d'endommager la cible.
2. Inspection de l'installation de la cible: Vérifiez régulièrement l'installation de la cible pour garantir que la cible est fermement installée. La cible sera bombardée par des ions à grande vitesse pendant le processus de pulvérisation. S'il n'est pas fermement installé, il peut entraîner le tremblement de la cible ou même tomber, ce qui affectera non seulement l'effet de pulvérisation, mais aussi endommager l'équipement. Vérifiez si la connexion entre la cible et l'alimentation électrique est bonne. Le relâchement de la connexion peut rendre le processus de pulvérisation instable et provoquer des phénomènes anormaux tels que l'étincelle. Si la connexion est lâche, les boulons de connexion doivent être serrés dans le temps.
3. Target Service Life Survering: Différents types de matériaux cibles ont leur durée de vie spécifique. Portez une attention particulière au temps de pulvérisation et à l'effet de pulvérisation de la cible. Lorsque le taux de pulvérisation de la cible baisse considérablement et que la qualité du film fluctue, cela peut signifier que la cible est proche de sa durée de vie. Remplacez le matériau cible à temps pour assurer la stabilité du processus de pulvérisation et la cohérence de la qualité du film. Dans le même temps, enregistrez le temps d'utilisation et les paramètres connexes du matériau cible pour fournir une base pour le remplacement ultérieur du matériau cible et l'évaluation des performances.
Maintenance du système électrique
1. Inspection de l'alimentation électrique: L'alimentation de l'équipement de la pulvérisation de magnétron fournit de l'énergie au processus de pulvérisation, et sa stabilité est cruciale. Vérifiez régulièrement si la tension de sortie et le courant de l'alimentation se trouvent dans la plage normale. Vous pouvez utiliser des instruments de mesure électrique professionnels pour détecter l'alimentation pour vérifier si les paramètres de sortie sont cohérents avec les valeurs de réglage de l'équipement. Si la tension ou le courant de sortie fluctuent anormalement, la cause doit être rapidement étudiée. Il peut s'agir d'un défaut dans les composants internes de l'alimentation ou un problème avec la connexion de ligne. De plus, vérifiez la dissipation de chaleur de l'alimentation pour vous assurer que l'alimentation peut dissiper normalement la chaleur pendant le fonctionnement. L'alimentation générera beaucoup de chaleur lorsque vous travaillerez longtemps. Si la dissipation de la chaleur est mauvaise, elle peut endommager les composants. Nettoyez la poussière sur le radiateur d'alimentation pour vous assurer que le ventilateur de refroidissement fonctionne normalement.
2. Entretien du circuit électrique: Vérifiez si le circuit électrique à l'intérieur de l'équipement vieillit ou endommagé. Après une utilisation à long terme, le circuit électrique peut avoir des problèmes tels que le vieillissement de la couche d'isolation et les dommages du fil, ce qui apportera des risques de sécurité et affectera le fonctionnement normal de l'équipement. Pour le vieillissement ou les circuits endommagés trouvés, ils doivent être remplacés dans le temps. Dans le même temps, assurez-vous que la connexion de ligne est ferme pour éviter le relâchement provoquant un mauvais contact. Les points de connexion en vrac peuvent générer des étincelles pendant le fonctionnement de l'équipement, des composants de l'équipement endommageant ou même provoquer un incendie. Serrez régulièrement les vis des points de connexion de ligne et vérifiez le contact entre la bougie et la prise.
3. Maintenance du système de contrôle: Le système de contrôle de l'équipement est responsable de la surveillance et de l'ajustement de divers paramètres du processus de pulvérisation. Sauvegardez régulièrement les données du système de contrôle pour éviter la perte de données. Dans le même temps, vérifiez s'il existe des invites de mise à jour pour le logiciel du système de contrôle. Les mises à jour logicielles en temps opportun peuvent corriger les vulnérabilités connues et améliorer la stabilité et la fonction du système. De plus, nettoyez l'interface de fonctionnement du système de contrôle pour vous assurer que les boutons et l'écran d'affichage fonctionnent correctement, et l'opérateur peut saisir avec précision les paramètres et obtenir des informations de fonctionnement de l'équipement.
Maintenance du système de refroidissement
1. Inspection du liquide de refroidissement: Le système de refroidissement est utilisé pour réduire la chaleur générée par l'équipement pendant le fonctionnement. Le liquide de refroidissement est le milieu clé du système de refroidissement. Vérifiez régulièrement le niveau de liquide de refroidissement pour vous assurer que le niveau se situe dans la plage normale. Le niveau de liquide de refroidissement baissera en raison de l'évaporation, des fuites, etc. à long terme. Un niveau trop faible affectera l'effet de refroidissement. En même temps, vérifiez la qualité du liquide de refroidissement et observez si le liquide de refroidissement est décoloré, trouble ou a une odeur. Si le liquide de refroidissement se détériore, il doit être remplacé dans le temps. Il est généralement recommandé de remplacer le liquide de refroidissement tous les 1 à 2 ans. Le cycle de remplacement spécifique peut être déterminé en fonction de l'utilisation de l'équipement et des recommandations du fabricant.
2. Entretien du tuyau de refroidissement: Vérifiez si le tuyau de refroidissement est bloqué. L'intérieur du tuyau de refroidissement peut être bloqué en raison de l'accumulation d'échelle, d'impuretés, etc., affectant l'écoulement normal du liquide de refroidissement. Le tuyau peut être nettoyé par le nettoyage chimique ou le nettoyage physique. Le nettoyage chimique peut utiliser un agent de nettoyage spécial de tuyau, mais prêtez attention à la concentration de l'agent de nettoyage et au temps de nettoyage pour éviter la corrosion du tuyau. Le nettoyage physique peut être effectué par le rinçage à haute pression du pistolet à eau et d'autres méthodes. De plus, vérifiez le scellage du tuyau de refroidissement pour éviter les fuites de liquide de refroidissement. Si une fuite est trouvée dans le tuyau, les pièces de tuyau endommagées doivent être réparées ou remplacées dans le temps.
3. Inspection de l'équipement de refroidissement: Vérifiez la pompe à eau, le radiateur et d'autres équipements dans le système de refroidissement. Assurez-vous que la pompe à eau fonctionne normalement. La roue de la pompe à eau peut affecter la capacité de pompage due à l'usure. Si la pompe à eau pompe anormalement, la pompe à eau doit être réparée ou remplacée dans le temps. Vérifiez si les ailerons du dissipateur de chaleur du radiateur sont bloqués, nettoyez la poussière et les débris sur les ailerons du dissipateur de chaleur et assurez-vous que le radiateur peut dissiper efficacement la chaleur. Dans le même temps, vérifiez le fonctionnement du ventilateur de refroidissement pour vous assurer que le ventilateur peut fournir normalement de l'air de refroidissement pour le radiateur.
Nettoyage des équipements et entretien environnemental
1. Équipement Nettoyage de la surface: Nettoyez régulièrement la surface de l'équipement de pulvérisation magnétron pour éliminer la poussière, l'huile et d'autres polluants. Vous pouvez utiliser un chiffon doux propre pour plonger dans une quantité appropriée de détergent et essuyer doucement la surface de l'équipement. Pour certaines taches tenaces, vous pouvez utiliser un nettoyeur d'équipement spécial, mais veillez à éviter que le détergent entre à l'intérieur de l'équipement. Après le nettoyage, essuyez la surface de l'équipement avec un chiffon propre pour garder l'apparence de l'équipement propre.
2. Environnement de travail propre: l'environnement de travail de l'équipement a également un impact important sur ses performances et sa vie. Gardez l'environnement de travail propre, nettoyez régulièrement la poussière sur le sol et évitez que trop de poussière d'entrer dans l'équipement. Contrôlez la température et l'humidité de l'environnement de travail. Généralement, l'équipement de pulvérisation de magnétron convient au travail dans un environnement avec une température de 20-25 et une humidité relative de 40% à 60%. Un équipement de climatisation et de déshumidification peut être installé pour ajuster la température et l'humidité ambiantes. De plus, assurez-vous que l'environnement de travail est bien ventilé pour empêcher l'accumulation de gaz de chaleur et d'échappement généré pendant le fonctionnement de l'équipement.
En bref, la maintenance quotidienne des équipements de pulvérisation magnétron couvre plusieurs aspects tels que le système d'aspirateur, la cible de pulvérisation, le système électrique, le système de refroidissement, le nettoyage des équipements et l'entretien environnemental. Les opérateurs doivent suivre strictement le manuel de maintenance du fabricant de l'équipement pour une maintenance régulière, découvrir et résoudre rapidement des problèmes potentiels afin d'assurer le fonctionnement stable de l'équipement, d'améliorer la durée de vie de l'équipement et ainsi d'améliorer la qualité et l'efficacité de la production du film pulvérisé.
