L'évaporation du faisceau d'électrons est de placer le matériau du film dans un creuset en cuivre refroidi par eau et d'utiliser directement le chauffage du faisceau d'électrons pour faire les atomes ou les molécules du matériau du film se vaporisent et s'échappent de la surface, puis entrez dans la surface du substrat et se condenser en film.
L'évaporation du faisceau d'électrons a une efficacité thermique plus élevée, une densité de courant de faisceau plus élevée, une vitesse d'évaporation plus rapide et une pureté plus élevée du film que l'évaporation du chauffage de résistance générale.
Applications:
La machine à revêtement optique peut recouvrir une variété de systèmes de films avec un grand nombre de couches, telles que les passes à ondes courtes, les passes longues, le film anti-réflexion, le film réfléchissant, le film filtrant, le film spectroscopique, le film de passe-bande, le film diélectrique, le film élevé, le film réfléchissant par couleur, etc.
Il peut atteindre un revêtement de film de 0 à 50 couches de film, et peut également répondre aux exigences de revêtement des produits tels que le verre réflexive automobile, les lunettes, les lentilles optiques, les tasses légères froides, etc.
Il peut enrober une variété de systèmes cinématographiques avec différentes sources d'évaporation, des pistolets d'électrons, des sources d'ions et des compteurs d'épaisseur de film, et peut évaporer les métaux, les oxydes, les composés et autres matériaux de film à point de fusion élevé.
Caractéristiques:
La machine à revêtement optique est équipée d'un compteur d'épaisseur de film cristallin de quartz, et le système PLC et à écran tactile est combiné pour réaliser le contrôle automatique de l'ensemble du processus de travail, avec une excellente efficacité de travail et une répétabilité de la qualité du produit.
Convient pour une utilisation par les fabricants du champ optique et les exigences de production industrielle à grande échelle.
Spécification:
| Revêtement optique | |||||||
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Modèle |
SF-800 |
SF-1200 |
SF-1400 |
SF-1600 |
SFW-1000 |
SFW-1200 |
SFW-1600 |
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Taille de chambre |
Φ800 × 1000 mm |
Φ1200 × 1400 mm |
Φ1400 × 1600 mm |
Φ1600 × 1800 mm |
Φ1000 × 1100 mm |
Φ1200 × 1400 mm |
Φ1600 × 1800 mm |
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Aspirateur |
Unité de pompe de diffusion KT500 |
Unité de pompe de diffusion KT630 |
Unité de pompe à diffusion Double KT630 |
Unité de pompe à diffusion Double KT630 |
Unité de pompe de diffusion KT500 |
Unité de pompe de diffusion KT630 |
Unité de pompe à diffusion Double KT630 |
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Système de revêtement |
Source d'évaporation du pistolet électronique, enrobage d'alimentation dédiée à l'ion auxiliaire ou source d'ion hall |
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Système d'inflation |
Contrôleur de pression |
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Méthode de contrôle |
Manuel ou entièrement automatique |
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Système de surveillance de l'épaisseur du film |
Système de surveillance de l'épaisseur du film en cristal en quartz |
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Taux de pompage |
5 × 10-3pa ﹤ 15 minutes |
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Vide ultime |
3.0x10-4pa |
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Remarque |
Les paramètres de l'équipement ci-dessus sont uniquement pour référence et sont conçus et personnalisés en fonction des exigences réelles du processus des clients. |
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