De nombreux clients sont confus lors de l'achatmachines de revêtement sous vide. Ils savent de quel type et modèle de machine de revêtement ils ont besoin, mais ils ne peuvent pas déterminer à quelles normes la machine doit répondre pour être considérée comme de bonne qualité et de haute-qualité. Cette confusion les amène à faire de nombreux détours. Ci-dessous, Puyuan Vacuum fournira une introduction détaillée aux exigences techniques de base auxquelles une machine de revêtement sous vide doit répondre.
Évaporation sous vide, ionisation cathodique, pulvérisation magnétron :
1.La structure des canalisations sous vide et des composants d'étanchéité statique de l'équipement doit être conforme à GB/T6070.
2.Des jauges de mesure du vide doivent être installées sur les canalisations de vide faible-et de vide-élevé ainsi que sur la chambre de revêtement sous vide pour mesurer le niveau de vide à chaque emplacement. Si une interférence du champ électrique est détectée, un dispositif de protection contre le champ électrique doit être installé au niveau du port de mesure.
3.Si la pompe principale utilisée dans l'équipement de revêtement PVD est une pompe à diffusion, un piège à vapeur d'huile doit être installé du côté de l'entrée de la pompe.
4. La chambre de revêtement de l'équipement de revêtement sous vide doit être équipée d'une fenêtre d'observation et d'un déflecteur. La fenêtre d'observation doit permettre d'observer l'état de fonctionnement de la source de dépôt et d'autres composants critiques.
5. La conception de la source de dépôt par placage ionique doit maximiser le taux d'ionisation pendant le processus de revêtement, améliorer le taux d'utilisation du matériau de revêtement, correspondre rationnellement à la puissance de la source de dépôt et organiser rationnellement la position de la source de dépôt dans la chambre à vide.
6.Le dispositif de chauffage doit être disposé de manière rationnelle ; généralement, la disposition de la structure du réchauffeur doit garantir une élévation uniforme de la température de la pièce à plaquer.
7. Le porte-pièce doit être isolé de la chambre à vide et la conception du porte-pièce doit garantir que la couche de film de la pièce est uniforme.
8. Les machines de revêtement sous vide ionique doivent généralement avoir une tension de polarisation négative de la pièce et une alimentation électrique de bombardement ionique. L'alimentation électrique du bombardement ionique doit être dotée d'un dispositif permettant de supprimer les décharges anormales et de maintenir un fonctionnement stable.
9.Les valeurs de résistance d'isolement entre différentes parties de la chambre à vide connectées à différents potentiels doivent être conformes à 4.4.6 de GB/T11164-1999.
10. Autres précautions
(1) Température ambiante : 10-30 degrés
(2) Humidité relative : pas supérieure à 75 %
(3) Température d'entrée de l'eau de refroidissement : pas supérieure à 25 degrés
(4) Qualité de l'eau de refroidissement : eau du robinet municipal ou eau de qualité équivalente.
(5) Alimentation : 380 V triphasé-50 Hz ou 220 V monophasé-50 Hz (selon les appareils électriques utilisés) ; plage de fluctuation de tension : 342-399 V ou 198-231 V ; plage de fluctuation de fréquence : 49-51 Hz.
(6) La pression, la température et la consommation d'air comprimé, d'azote liquide, d'eau froide, d'eau chaude, etc., requises par l'équipement doivent être spécifiées dans le manuel d'instructions du produit.
(7) L'environnement environnant de l'équipement doit être propre et l'air doit être exempt de poussière ou de gaz susceptibles de provoquer la corrosion des composants électriques ou d'autres pièces métalliques, ou la conduction entre les métaux.
