La machine à revêtement PVD de substrat en céramique est un équipement clé pour le dépôt en film mince de haute précision de matériaux en céramique (comme l'oxyde d'aluminium, le nitrure d'aluminium, le nitrure de silicium, l'oxyde de zirconium, etc.).
Il utilise une technologie de dépôt de vapeur physique sous un environnement sous vide pour former divers films fonctionnels à la surface des substrats en céramique.
Ceramic substrate PVD coating machines have become an indispensable core equipment for realizing surface functionalization of ceramic substrates (conductive, thermal, solderable, bonding, protective, optical, etc.) in high-end electronics, optoelectronics, semiconductors, power electronics and other fields due to their ultra-high vacuum environment, precise process control, multiple coating technology options and excellent thin film properties (Haute pureté, densité, forte adhésion, haute précision).
Applications:
Emballage électronique
Métallisation sur les supports de puces LED, substrats de module d'alimentation, boîtiers / substrats de dispositifs RF micro-ondes et packages en céramique semi-conducteurs.
Optoélectronique
Métallisation des substrats en céramique / dissipateurs de chaleur pour les LED, lasers et photodétecteurs.
Semi-conducteurs
Interconnexions sur les couches structurelles du dispositif MEMS, les électrodes de capteur et les couches d'isolation en céramique.
Électronique électrique
Métallisation de surface (Cu, Al) et couches de barrière / protectrice de substrats en céramique (DCB, AMB) pour les dispositifs de puissance tels que IGBT et MOSFET.
Circuits à couches minces
Résistances à couches minces, condensateurs, inductances et lignes de transmission sur des substrats en céramique pour les circuits intégrés hybrides et les circuits d'ondes de millimètres à micro-ondes.
Capteurs
Électrodes fonctionnelles et maux pour divers capteurs de substrat en céramique (pression, température, gaz).
Aérospatial et défense
Fiabilité élevée, composants électroniques et pièces en céramique résistants à l'environnement extrême.
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