Principe de travail de la machine à revêtement multi-arc

La machine à revêtement multi-ARC génère du plasma à haute température à travers plusieurs sources d'arc (4-16), évapore le matériau métallique et le dépose à la surface du substrat pour obtenir un revêtement efficace (uniformité de l'épaisseur du film ± 5%). Sa chambre à vide centrale est divisée en une chambre de revêtement (degré de vide inférieur ou égal à 10 ^ -3pa) et une chambre de prétraitement. Le premier assure un environnement à faible imputation, et le second est utilisé pour le nettoyage et le polissage du substrat afin d'améliorer l'adhésion. Les paramètres de processus clés comprennent la puissance de la source d'arc (20-200a), la température du substrat (100-300 degrés) et le taux de dépôt (1-10 nm / s), qui doivent être ajustés dynamiquement en fonction de la forme du substrat (telles que des surfaces incurvées complexes) et du matériau (métal / céramique). Il convient aux scènes telles que le film anti-réflexion optique et le revêtement dur de l'outil.