Tout matériau solide dissoudra et adsorbera certains gaz dans l’atmosphère. Lorsqu’ils sont placés sous vide, ces matériaux libèrent des gaz par désorption. Le taux de dégazage est proportionnel à la teneur en gaz du matériau. La composition du gaz, la température et le temps de désorption varient en fonction du matériau.
Différentes pompes ont des débits de pompage différents pour des gaz de compositions différentes. Lors de l'évacuation du vide, la première chose à évacuer est l'atmosphère dans le récipient (ce gaz est rapidement évacué, et à 10-1 Pa, le four est pratiquement complètement épuisé). Viennent ensuite le gaz désorbé de la surface du matériau, le gaz diffusé de l'intérieur du matériau vers la surface et le gaz qui pénètre à travers la paroi du récipient dans le vide.
Par conséquent, une fois que les marchandises entrent dans le four, elles doivent être isolées et dégazées. En effet, les marchandises absorberont certains gaz d'impuretés avant d'entrer dans le four, et nous devons utiliser un chauffage approprié pour permettre à ces gaz de se désorber de la surface des marchandises. En prenant l'acier inoxydable comme exemple, en plus des gaz adsorbés à sa surface, certains gaz seront également libérés de l'acier pendant le processus continu de chauffage et d'isolation. La présence de ces gaz a souvent un impact significatif sur la pureté et la couleur du film, ainsi qu'un impact significatif sur l'adhérence de la couche de film.
À partir de l’introduction ci-dessus, vous devriez savoir pourquoi des accessoires chauffants sont nécessaires dans les machines de revêtement sous vide. Afin d'obtenir l'environnement de vide requis et de déposer des couches de film de haute-qualité, il est essentiel de configurer des accessoires de chauffage dans la chambre de la machine de revêtement sous vide.
