De nombreuses entreprises envisagent de mesurer la couche de film après avoir utilisé des machines de revêtement sous vide pour garantir sa qualité.
Cependant, la couche de film est très fine, ce qui donne l’impression que la mesure est un processus mystérieux.
Aujourd'hui, Puyuan Vacuum présentera les méthodes de mesure et de surveillance des couches de revêtement, dans l'espoir d'être utile à tout le monde.
La méthode la plus directe pour contrôler le processus de revêtement dans une machine de revêtement sous vide est la méthode de la microbalance à cristaux de quartz (QCM).
Cet instrument peut piloter directement la source d'évaporation et maintenir le taux d'évaporation en pilotant cycliquement les déflecteurs via le contrôle PID.
Une fois l'instrument connecté au logiciel de contrôle du système, il peut contrôler l'ensemble du processus de revêtement. Cependant, la précision du QCM est limitée, en partie parce qu’il surveille la qualité du revêtement plutôt que son épaisseur optique.
De plus, bien que le QCM soit très stable à des températures plus basses, il devient très sensible aux augmentations de température. Lors d'un chauffage prolongé, il est difficile d'empêcher le capteur de tomber dans cette zone sensible, provoquant ainsi des erreurs importantes dans la couche de film.
La surveillance optique est la méthode de surveillance privilégiée pour les revêtements de haute-précision, car elle permet un contrôle plus précis de l'épaisseur du film (si elle est utilisée correctement). L'amélioration de la précision résulte de nombreux facteurs, mais la raison la plus fondamentale est la surveillance de l'épaisseur optique.
Le système de surveillance optique à longueur d'onde unique OPTIMALSWA-I-05 utilise des mesures et un contrôle indirects, combinés à un logiciel de surveillance optique avancé développé.
Il améliore efficacement la sensibilité des réponses optiques aux changements d'épaisseur du film, réduisant ainsi les erreurs ultimes et offrant un choix de modes de rétroaction ou de transmission et une large gamme de longueurs d'onde de surveillance. Il est particulièrement adapté au contrôle de revêtements de différentes épaisseurs, y compris de films irréguliers.
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