La machine de revêtement optique sous vide se compose d'un système de vide, d'un système d'évaporation, d'un système de refroidissement et d'un système électrique. Le système de vide se compose d'un réservoir à vide et d'un système d'échappement. Le réservoir à vide est le corps principal de la machine de revêtement et le processus de revêtement est terminé dans le réservoir à vide. Le réservoir à vide et le système d'échappement sont reliés par une vanne de raccordement. Afin d'éviter l'influence des molécules d'air sur les ions pulvérisés et d'améliorer la qualité de la couche de film, les composants optiques et la source d'ions doivent être placés dans un environnement sous vide pendant le fonctionnement.
Le système d'échappement se compose principalement d'une pompe mécanique, d'une pompe Roots et d'une pompe à vide, chargée d'évacuer les gaz dans le réservoir à vide et de former un environnement sous vide dans le réservoir. Le système d’évaporation fait principalement référence au dispositif filmogène. Il existe de nombreux types de dispositifs filmogènes dans la machine de revêtement, tels que le chauffage par résistance, l'évaporation par canon à électrons, la pulvérisation magnétron, la pulvérisation radiofréquence, le placage ionique, etc.
Les machines de revêtement optique sous vide appliquent des films minces sur les composants optiques par pulvérisation sous vide, modifiant ainsi la réflectivité et la transmission de la lumière incidente. Pour minimiser les pertes de réflexion sur la surface du composant et améliorer la qualité de l'image, plusieurs couches de films minces sont souvent appliquées. Après avoir revêtu un composant optique, la lumière se reflète et se transmet plusieurs fois sur la surface du film multicouche, formant ainsi plusieurs faisceaux d'interférences. En contrôlant l'épaisseur et l'indice de réfraction des couches de film, des distributions d'intensité variables peuvent être obtenues. Ce principe peut être utilisé pour fabriquer des films réfléchissants polarisants, des films de séparation des couleurs, des films de lumière froide et des filtres interférentiels pour répondre à des besoins plus complexes.
