Maintenance des machines de revêtement optique sous vide
(1) Remplacez régulièrement l’huile de la pompe à diffusion
L’huile de la pompe à diffusion doit être utilisée pendant une période d’environ deux mois (deux équipes). En raison des environnements à température élevée-à long terme, même si la pompe à diffusion n'est activée que sous un vide relativement élevé, l'oxygène résiduel et d'autres composants peuvent réagir avec l'huile de la pompe à diffusion. Des températures élevées peuvent également provoquer la décomposition de l’huile de la pompe à diffusion, dégradant sa qualité et prolongeant le temps de pompage. Si le temps de pompage est jugé trop long, il convient de le remplacer.
(2) Pompes à vide : l’huile de pompe mécanique et l’huile de pompe de maintenance connaîtront des changements de qualité après deux mois d’utilisation. Cela peut se produire en raison de l'incorporation d'humidité, d'impuretés et d'autres facteurs, qui peuvent entraîner une détérioration de la viscosité de l'huile et une chute du vide, nécessitant un remplacement. Pour les nouveaux équipements, le remplacement doit être effectué dans les deux premières semaines d’utilisation. Pendant la période de rodage-, l'huile contient une forte concentration de poussière de fer, ce qui peut augmenter l'usure.
(3) Propreté et assainissement : maintenir régulièrement l'hygiène de l'équipement et de ses environs, en gardant l'intérieur et l'extérieur de l'équipement propres et la zone environnante organisée pour créer un bon environnement de travail et assurer la sécurité.
Nettoyer unMachine de revêtement sous vide optique
Après une semaine de fonctionnement (trois équipes), le matériau de revêtement recouvrira non seulement la surface de la pièce mais également le revêtement à l'intérieur de la chambre grâce à son revêtement non-directionnel. Le revêtement deviendra progressivement plus épais. Ce film, en raison de sa structure lâche et de son enchevêtrement, absorbe une grande quantité de gaz, ce qui oblige l'équipement de revêtement sous vide à pomper l'air plus lentement. A ce moment, la chambre et le revêtement doivent être nettoyés. Les composants de démontage inutiles peuvent être poncés. Le liner peut être trempé dans une solution d'acide fluorhydrique. Le rapport acide fluorhydrique/eau doit être déterminé en fonction du temps de trempage requis et de l’effet souhaité sur le liner. Le revêtement doit être séché avant l'installation. Avant le séchage, essuyez la doublure aussi sèche que possible. Après avoir nettoyé le cadre de travail et les autres composants avec du papier de verre, retirez toute la poussière de la chambre à vide. Cela peut être fait avec un aspirateur. Enfin, lors de l'installation du revêtement, la chambre à vide et le revêtement doivent être nettoyés avec une lingette alcoolisée-. L'utilisation d'un canon à électrons et d'une source d'ions pour faciliter le revêtement peut rendre le nettoyage difficile ; le sablage ou d’autres méthodes de nettoyage peuvent être utilisés.
